Overview
產品簡介
TAS 450 Type A3 Load Port 相容於 450mm 晶圓 FOUP。
Specifications
- 晶圓 / 載具
- 450mm FOUP
- CDA
- 0.52–0.60 MPa(G)・30 L/min (ANR)・φ6 mm 管
- 真空
- −61 ± 10 kPa(G)・10 L/min (ANR)・φ6 mm 管
- 使用電源
- DC24V ± 5%,3 A(全負載電流 2 A)
