Overview
產品簡介
TAS 300 Type J1 Load Port 相容於 300mm 晶圓 FOUP,是 TDK 最新開發產品,具有輕量化及縮短 cycle time 10 秒的優勢。
Specifications
- 晶圓 / 載具
- 300mm FOUP
- Cycle time
- 較前代縮短 10 秒
- CDA
- 0.52–0.60 MPa(G)・30 L/min (ANR)・φ6 mm 管
- 真空
- −61 ± 10 kPa(G)・10 L/min (ANR)・φ6 mm 管
- 使用電源
- DC24V ± 5%,3 A(全負載電流 2 A)
