Overview
產品簡介
TAS 300 Rotary Table Type E4A Load Port 相容於 300mm 晶圓 FOUP,針對需要將 FOUP 的 FIMS 面反方向放置 Load Port 平台上作水平反轉 180°,並可自 EFEM 側讀取晶圓片機能的特殊規格所使用。
Specifications
- 晶圓 / 載具
- 300mm FOUP
- 平台
- 水平反轉 180°
- CDA
- 0.52–0.60 MPa(G)・30 L/min (ANR)・φ6 mm 管
- 真空
- −61 ± 10 kPa(G)・10 L/min (ANR)・φ6 mm 管
- 使用電源
- DC24V ± 5%,3 A(全負載電流 2 A)
