Overview
產品簡介
AVI-B4 為對應 TDK 製 TAS-300 FOUP Load Port(Type E4 / E4A / H1)之產品,在搭載本產品後將能使用 200mm Open Cassette;當取下 Cassette 時本機型可提供 Carrier 信號 OFF Event 訊號,為有罩式 Adapter 之機型。
Specifications
- 對應機型
- TDK TAS-300 Type E4 / E4A / H1
- 晶舟
- 200mm Open Cassette
- 型式
- 有罩式
- 訊號
- 取下 Cassette 時 Carrier OFF Event
